■王英

張寶順

中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所納米加工平臺(tái)主任、研究員，曾先后擔(dān)任科技部“光電子與微電子器件與集成”重點(diǎn)研究計(jì)劃專家組成員、國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)評(píng)審專家，長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)和器件加工工藝研究。

作為關(guān)鍵核心技術(shù)，芯片被譽(yù)為一個(gè)國(guó)家的“工業(yè)糧草”，是整機(jī)設(shè)備的“心臟”，芯片技術(shù)也從某種程度代表了一個(gè)國(guó)家的信息技術(shù)水平。

中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所（以下簡(jiǎn)稱蘇州納米所）研究員張寶順深知這顆“心臟”的重要。于是，他積極投身相關(guān)領(lǐng)域研究，為中國(guó)“芯”注入科技力量。

忘我拼搏，打造科研“新硅谷”

近年來(lái)，中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)整體規(guī)模高速發(fā)展，但關(guān)鍵核心技術(shù)受制于人的局面沒(méi)有得到根本性改變，“卡脖子”問(wèn)題倒逼中國(guó)“芯”走上自主研發(fā)之路。

張寶順深知肩上使命和責(zé)任的分量，2006年，他受邀加入蘇州納米所，從零起步，投身納米加工平臺(tái)建設(shè)。

“我們平臺(tái)的使命，就是跟眾多企業(yè)、研究院所合作，大家共同努力，把核心的芯片國(guó)產(chǎn)化，并實(shí)現(xiàn)自主可控，減少我們對(duì)國(guó)外的依賴?！睆垖氻樥f(shuō)。

籌建之初，張寶順帶著團(tuán)隊(duì)，以“5+2”“白加黑”“非常6+1”的拼搏精神，親自動(dòng)手搭建、研發(fā)儀器設(shè)備，從方案設(shè)計(jì)到全線貫通，每個(gè)環(huán)節(jié)都緊密跟進(jìn)、嚴(yán)格把控。

2009年1月，在張寶順團(tuán)隊(duì)的努力下，納米加工平臺(tái)正式對(duì)外開(kāi)放，全面投入運(yùn)行，并迅速成長(zhǎng)為科研院所及中小企業(yè)創(chuàng)新孵化的搖籃，架起了科學(xué)研究與市場(chǎng)需求的橋梁。

10余年來(lái)，張寶順扎根蘇州工業(yè)園區(qū)，負(fù)責(zé)建設(shè)和運(yùn)行納米加工平臺(tái)。他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)建成了全面開(kāi)放的集納米加工、工藝測(cè)試、器件封裝于一體的國(guó)內(nèi)最大多功能公共服務(wù)平臺(tái)。該平臺(tái)現(xiàn)有超凈間面積10000平方米，包含6英寸MEMS、GaN基、SiC基和GaAs基芯片加工線及我國(guó)第一條8英寸面向5G應(yīng)用的氮化鋁濾波器工藝線。

該平臺(tái)完備的軟硬件技術(shù)支撐體系和獨(dú)具特色的高水平技術(shù)服務(wù)，吸引集聚了一大批創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍人才和高新技術(shù)企業(yè)落戶園區(qū)，增強(qiáng)了周邊企業(yè)自主創(chuàng)新能力，提升了園區(qū)納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)整體發(fā)展環(huán)境，助力園區(qū)形成了科技“新硅谷”。

目前，該平臺(tái)每年支持?jǐn)?shù)百家企業(yè)進(jìn)行創(chuàng)新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，合作的高校研究院所團(tuán)隊(duì)近200個(gè)，為企業(yè)產(chǎn)品研發(fā)及轉(zhuǎn)型升級(jí)、國(guó)家和地方重大科研任務(wù)完成提供了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。其中客戶之一的蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司，在該平臺(tái)協(xié)助下突破了多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)工藝研發(fā)，解決了CMOS電路與MEMS芯片進(jìn)行單一芯片集成的關(guān)鍵技術(shù)難題。

苦練內(nèi)功，實(shí)現(xiàn)微納芯片新突破

關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，還是要在關(guān)鍵領(lǐng)域基礎(chǔ)研究上下功夫。

多年來(lái)，張寶順承擔(dān)了國(guó)家“973”課題、國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)重大計(jì)劃、江蘇省產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合創(chuàng)新等科研項(xiàng)目數(shù)十項(xiàng)。他參與的國(guó)家級(jí)重點(diǎn)項(xiàng)目“半導(dǎo)體激光泵浦固體激光器”2000年獲國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)；帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)率先在國(guó)內(nèi)研制出基于相干布居數(shù)囚禁原理（CPT）的低功耗物理系統(tǒng)芯片，基于該成果合作開(kāi)發(fā)了我國(guó)第一個(gè)芯片原子鐘樣機(jī)，打破了美國(guó)的技術(shù)壟斷；開(kāi)發(fā)了基于氫等離子體鈍化的增強(qiáng)型氮化鎵電力電子器件，在此方面工作處于國(guó)際先進(jìn)水平；團(tuán)隊(duì)成果“面向未來(lái)的GaN基HEMTs高頻開(kāi)關(guān)器件研制與應(yīng)用”在2018年第一屆“率先杯”未來(lái)技術(shù)創(chuàng)新大賽中獲最高獎(jiǎng)項(xiàng)。

一項(xiàng)項(xiàng)成果和獎(jiǎng)項(xiàng)的背后是張寶順和團(tuán)隊(duì)日夜的奮斗。

有一次張寶順到北京出差，在火車上突然眼睛看不見(jiàn)了，到醫(yī)院檢查后發(fā)現(xiàn)是視網(wǎng)膜出血導(dǎo)致的暫時(shí)失明。

然而由于工作太忙，張寶順的眼疾一直拖了幾個(gè)月才做了手術(shù)。醫(yī)生叮囑，術(shù)后最好不用電腦、不看手機(jī)，可放心不下工作的張寶順，復(fù)工后，仍是一天未休。

不斷超越，推動(dòng)關(guān)鍵技術(shù)人才培養(yǎng)

在張寶順看來(lái)，創(chuàng)新人才是第一資源，誰(shuí)擁有了一流創(chuàng)新人才，誰(shuí)就能在科技創(chuàng)新中占據(jù)優(yōu)勢(shì)。

然而，半導(dǎo)體行業(yè)人才嚴(yán)重缺乏，對(duì)此張寶順深有感觸：“我們都是打著燈籠在全國(guó)甚至全球去找，才組建了現(xiàn)在100多人的大團(tuán)隊(duì)，這是我們最寶貴的資源。”

為打造納米技術(shù)人才培訓(xùn)高地，納米加工平臺(tái)積極響應(yīng)區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展對(duì)人才的新要求，主動(dòng)對(duì)接地方政府和企業(yè)，承擔(dān)了一系列高技能培訓(xùn)項(xiàng)目和企業(yè)緊缺人才培訓(xùn)項(xiàng)目，連續(xù)舉辦高技能人才職業(yè)技能競(jìng)賽，推動(dòng)關(guān)鍵技術(shù)人才的培養(yǎng)和儲(chǔ)備。

迄今為止，張寶順已經(jīng)培養(yǎng)了一支160余人的包括項(xiàng)目研發(fā)、工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)、技術(shù)培訓(xùn)、平臺(tái)運(yùn)行管理，以及設(shè)備開(kāi)發(fā)、維修維護(hù)人員在內(nèi)的專業(yè)人才隊(duì)伍。其中，從應(yīng)屆畢業(yè)生成長(zhǎng)為“中科院關(guān)鍵技術(shù)人才”“蘇州市勞動(dòng)模范”“蘇州市青年崗位能手”或“蘇州工業(yè)園區(qū)高技能領(lǐng)軍人才”的團(tuán)隊(duì)成員逾50人。

“以科技助力中國(guó)芯”，通過(guò)納米加工平臺(tái)一流的對(duì)外技術(shù)服務(wù)，更好地發(fā)揮國(guó)家戰(zhàn)略科技力量的科技引領(lǐng)作用，促進(jìn)核心芯片國(guó)產(chǎn)化、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主可控，盡早擺脫對(duì)國(guó)外的依賴，這就是張寶順奮力書(shū)寫(xiě)的新時(shí)代答卷。

（作者單位系中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所）